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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
對于測量范圍要求從 UHV (5 x10-10) 到 ATM (1000 mbar) 的應(yīng)用，Trigon? 系列包括雙技術(shù) BPG552 真空計。BPG552 由一個 Bayard-Alpert 熱電離傳感器元件和一個經(jīng)典、堅(jiān)固、可靠的皮拉尼傳感器元件組成。支持的 Bayard-Alpert 雙絲提供了**的精度、可重復(fù)性和使用壽命。
詳情介紹：
對于測量范圍要求從 UHV (5 x10-10) 到 ATM (1000 mbar) 的應(yīng)用，Trigon? 系列包括雙技術(shù) BPG552 真空計。BPG552 由一個 Bayard-Alpert 熱電離傳感器元件和一個經(jīng)典、堅(jiān)固、可靠的皮拉尼傳感器元件組成。支持的 Bayard-Alpert 雙絲提供了超卓的精度、可重復(fù)性和使用壽命。
1，雙測量儀（2 個傳感元件），測量范圍寬，降低成本，節(jié)省空間
2，用于 Bayard-Alpert 系統(tǒng)的 2 根燈絲
3，皮拉尼互鎖保護(hù)，避免燈絲過早燒毀
4，自動高真空皮拉尼調(diào)節(jié)，減少操作員干預(yù)
5，電隔離電子元件，避免雜散電流
6，滑動排放模式，避免切換排放流時出現(xiàn)壓力跳躍和凍結(jié)現(xiàn)象
7，可移動的校準(zhǔn)數(shù)據(jù)芯片延長了烘烤時間
8，設(shè)定點(diǎn)繼電器
9，明亮大屏幕 OLED 顯示屏（可 90° 旋轉(zhuǎn)），帶用戶界面
10，模擬輸出、RS232C 串行接口、EtherCAT® 接口
11，可與 VGC50x 控制器系列配合使用
12，向后兼容 BPG402
13，符合 RoHS 規(guī)范
半導(dǎo)體工藝中的壓力測量
工業(yè)鍍膜
低真空到超高真空范圍內(nèi)系統(tǒng)的一般真空測量和控制 超高真空范圍
測量范圍（空氣、O2、CO、N2） 5 × 10-10 … 1000 mbar
準(zhǔn)確性 1 × 10-8 … 1 x 10-2 mbar 讀數(shù)的 ±151 x 10-2 mbar … 1000 mbar 讀數(shù)的 ±30
重復(fù)性 讀數(shù)的 5%，10-8 ... 10-2 毫巴（穩(wěn)定 10 分鐘后）
暴露在真空中的材料 不銹鋼、鎳鐵合金、鍍鎳、哈氏合金、玻璃、銥、氧化釔 (Y2O3)、鎳、鎢
